深圳市儀器儀表學(xué)會
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【中國儀表網(wǎng) 儀表專利】創(chuàng)意無極限，儀表大發(fā)明。今天為大家介紹一項國家發(fā)明授權(quán)專利――一種裝有多旁路測量裝置的MEMS熱式質(zhì)量燃?xì)獗?/a>。該專利由遼寧思凱科技股份有限公司申請，并于2017年3月29日獲得授權(quán)公告。
內(nèi)容說明
本實用新型涉及一種燃?xì)獗恚唧w說涉及一種裝有多旁路測量裝置的MEMS熱式質(zhì)量燃?xì)獗怼?/span>
發(fā)明背景
現(xiàn)階段中、低壓的民用、商業(yè)燃?xì)庥脩糁饕褂玫膬x表有膜式燃?xì)獗?/a>，腰輪流量計，渦輪流量計等，這類儀表內(nèi)部有機(jī)械運(yùn)動部件，需定期維護(hù)，維護(hù)費(fèi)用高，長期使用精度不易保證；測量范圍窄，量程比小，尤其對小流量的測量容易出現(xiàn)漏計現(xiàn)象；表具體積及重量較大，安裝不便。流量儀表在管道安裝時要求前直管段為流量儀表直徑的5到10倍或更大，這樣對于口徑較大的儀表前直管段就需要很長，有些地方受到安裝限制就無法達(dá)到要求。
公開日為2011年3月30日、公開號為CN101126652B的專利文件公開了一種電子式質(zhì)量流量燃?xì)庥嬃勘恚ㄈ細(xì)獗須榫唧w氣密性容腔的殼體，殼體內(nèi)的輸氣管分為獨(dú)立的進(jìn)氣管，以及連接在一起的流量檢測管和出氣管，進(jìn)氣、出氣管分別與殼體的進(jìn)、出氣口連接，流量檢測管的下游端與出氣管連接并水平懸空在殼體中，流量檢測管具有主流氣道和旁路氣道，主流氣道中設(shè)置一用于分流的裝置位于連通旁路氣道的兩通孔之間，旁路氣道的截面積小于主流氣道的截面積，一熱式質(zhì)量流量傳感器的信號傳感模塊設(shè)于用于檢測的旁路氣道的內(nèi)壁，主要作用是信號傳感器模塊測量出旁路中較少的流量，通過主流氣道與旁路氣道的面積比，擴(kuò)大燃?xì)獗淼臏y量量程。它能夠?qū)?jīng)過的燃?xì)膺M(jìn)行質(zhì)量流量計量，并且能夠防止燃?xì)庵泻械姆蹓m附著在傳感器原件上。這種燃?xì)獗砟軌驅(qū)崿F(xiàn)燃?xì)庥嬃浚且笄爸惫芏屋^長，如果進(jìn)氣口前面的管段有閥門或彎頭就會產(chǎn)生偏流，這樣進(jìn)入旁路氣道中氣體的流量與主流氣道的流量比例就會發(fā)生變化，影響燃?xì)獗碛嬃康臏?zhǔn)確性。
發(fā)明內(nèi)容
本實用新型要解決的問題是針對以上不足，提供一種具有結(jié)構(gòu)簡單、體積小、重量輕、易維護(hù)，無需溫壓補(bǔ)償?shù)难b有多旁路測量裝置的MEMS熱式質(zhì)量燃?xì)獗怼?/span>
本實用新型解決其技術(shù)問題所采用的技術(shù)方案是：一種裝有多旁路測量裝置的MEMS熱式質(zhì)量燃?xì)獗恚∕EMS質(zhì)量流量傳感器及阻流體，其特征在于：在主流氣道1內(nèi)側(cè)裝有阻流體7，阻流體7位于旁路入口2和旁路出口5之間。旁路入口2經(jīng)旁路氣道3與旁路出口5連接，在旁路氣道3的上方裝有MEMS質(zhì)量流量傳感器4，MEMS質(zhì)量流量傳感器4由傳感器底座6固定。由旁路入口2、旁路氣道3、MEMS流量傳感器4、旁路出口5組成旁路檢測裝置，1#旁路檢測裝置8、2#旁路檢測裝置9、3#旁路檢測裝置10、4#旁路檢測裝置11分別放置在主流氣道1外側(cè)呈對稱分布。
本實用新型的有益效果是，一種帶有多旁路測量的MEMS熱式質(zhì)量燃?xì)獗恚琈EMS流量傳感器可以測量氣體的質(zhì)量流量，無需溫壓補(bǔ)償。MEMS傳感器安裝在旁路上，使得抗污染能力得到提高，另外通過調(diào)整測量管道與旁路的分流比可以拓展燃?xì)獗淼牧髁繙y量范圍。多旁路傳感器的流量測量方式，通過多個旁路氣道的多點(diǎn)測量，解決了單旁路氣道因氣體偏流引起的主流氣道與旁路氣道流量比例的變化，經(jīng)過多個旁路氣道測量出的數(shù)據(jù)加權(quán)平均計算，提高了測量儀表的計量精度、重復(fù)性和可靠性，減少了流量儀表前直管段長度。
本實用新型無任何機(jī)械運(yùn)動部件，無任何機(jī)械磨損，故障率低，壽命長。覆蓋中、低壓的民用、商業(yè)燃?xì)庥脩艏肮I(yè)用戶，量程比最大可達(dá)1000:1，超寬的量程范圍使表具不會出現(xiàn)小流量漏計現(xiàn)象，具有體積小、重量輕、無噪聲、不受磁場影響、防拆卸、易安裝、零點(diǎn)穩(wěn)定性好、重復(fù)性好、精度高、始動流量低等特點(diǎn)，多傳感器同時工作，也提高了測量裝置的可靠性。
