20世紀(jì)90年代,國(guó)內(nèi)光學(xué)零件制造水平不高,大多采用“手工+機(jī)械拋光”的傳統(tǒng)加工技術(shù),對(duì)于大口徑、高精度、復(fù)雜面形的光學(xué)零件我國(guó)制造能力有限,許多相關(guān)領(lǐng)域的技術(shù)進(jìn)步常常要受困于此。
新世紀(jì)之初,正在做訪問(wèn)學(xué)者的國(guó)防科大精密工程創(chuàng)新團(tuán)隊(duì)李圣怡教授了解到,國(guó)外一所大學(xué)已在研發(fā)磁流變加工設(shè)備,回校后他便帶領(lǐng)團(tuán)隊(duì)進(jìn)行潛心研究,終于弄清了磁流變加工技術(shù)原理,論證了該技術(shù)在光學(xué)加工上的優(yōu)勢(shì)。于是,他們決定跳過(guò)一、二代的光學(xué)零件的制造加工技術(shù),直接瞄準(zhǔn)基于可控柔體制造的第三代光學(xué)加工方法,研制磁流變加工新技術(shù)。
5年夜以繼日的奮力攻關(guān),使他們終于研制成功我國(guó)首臺(tái)達(dá)到納米精度磁流變拋光裝備。再接再厲,團(tuán)隊(duì)隨后又研制成功離子束打拋光裝備,終于突破了大型光學(xué)零件高效、高精度、無(wú)損傷制造的技術(shù)瓶頸,使我國(guó)超高精度光學(xué)零件加工進(jìn)入到納米精度的世界先進(jìn)水平。
將光學(xué)零件面形精度峰谷值控制在5納米以內(nèi)。5納米,意味著哪怕一個(gè)細(xì)菌就會(huì)導(dǎo)致整個(gè)面形崩潰,只能逐層分子、逐層分子地進(jìn)行去除加工。國(guó)家的需求就是攻關(guān)方向,為此創(chuàng)新團(tuán)隊(duì)最終實(shí)現(xiàn)了5納米的精度要求。